TS300-SE Probe System

MPI TS300-ShielDEnvironment ™ La stazione sonda TS300-SE 12 pollici è progettata per fornire avanzate schermature EMI / RFI / opache, ultra-basso rumore e capacità di misurazione a bassa perdita per piccoli dispositivi su wafer da 300mm e inferiori. Si combina con la piattaforma ammortizzante all'altezza ottimale, rendendo le operazioni quotidiane molto convenienti.

Adatto per varie applicazioni di misura wafer

• Come descrizione e modellazione delle caratteristiche dei componenti, onde RF e millimetriche, affidabilità del livello del wafer (WLR) e analisi dei guasti (FA)
• MPI ShielDEnvironment ™ Ambiente di protezione
• Un ambiente di misura di precisione progettato specificamente per la schermatura EMI/RFI/Light Time
• Sostegno alla misurazione di perdite basse a livello di sicurezza aerea
• Sistema integrato di assorbimento degli urti
• Campo di misura della temperatura da -60 ° C a 300 ° C

ShielDEnvironment ™

MPI ShielDEnvironment ™ È un sistema di schermatura micro dark room ad alte prestazioni che fornisce ultra-basso rumore, bassa capacità di misura, EMI eccellente e ambiente di prova opaco.

ShielDCap ™

MPI ShielDEnvironment ™ Il micro sistema di schermatura della camera oscura fornisce fino a 4 porte di RF o fino a 8 porte di DC/Kelvin e altre combinazioni per il test.

MPI ShielDCap ™ Facile da bloccare e riconfigurare, svolge un ruolo importante nella semplificazione delle operazioni quotidiane.

cuscinetto ad aria

L'esclusivo design del palco del cuscino d'aria MPI presenta un semplice controllo del calibratore con una mano sola, che offre una comodità operativa senza pari per una navigazione XY veloce e caricamento del wafer, mentre ha anche un preciso movimento del micrometro XY Theta 25x25mm che non influisce sulle capacità di posizionamento precise.

Regolazione Z unica del mandrino

Oltre al piano di lavoro XY con cuscinetto ad aria, il TS300-SE include anche una regolazione della ventosa Z da 5 mm (risoluzione μ m), che può ottenere un controllo preciso del contatto/overtravel o la correzione della punta della sonda.

L'indicatore di scala da 1mm fornisce un feedback conveniente per l'operatore e l'ascensore pneumatico da 20mm offre un programma portatile di sollevamento con un clic.

Opzioni multiple del mandrino

TS300-SE offre una varietà di opzioni di mandrino per soddisfare diversi requisiti di budget e applicazione.

MPI e ERS hanno progettato insieme un nuovo vassoio per schede calde da 300 mm AirCool ® La serie di tecnologia PRIME offre un'elasticità termica senza precedenti, riducendo il tempo di controllo della temperatura del 60%, offrendo anche la più ampia gamma termica sul mercato.

Ridurre i tempi di conversione, migliorare le prestazioni elettriche, semplificare i test in ambienti a gas inerti e avere aggiornabilità in loco con AirCool ® Il valore aggiunto del sistema di disco della scheda calda PRIME.

Esistono diversi tipi di mandrini disponibili: coassiali, a tre assi o RF, ad alta tensione, ecc., con due mandrini ceramici ausiliari per una calibrazione precisa e stabile.

Integrazione del controllo della temperatura

La porta di carico wafer può essere chiusa a qualsiasi temperatura inferiore a 15 ° C, rendendo il TS300-SE la stazione di sonda manuale più sicura sul mercato.

Inoltre, il sistema di controllo della temperatura può essere azionato tramite un touch screen integrato, che è installato in una posizione conveniente sul rivelatore secondo principi ergonomici per ottenere una regolazione rapida e un feedback istantaneo.

Tecnologia di raffreddamento AC3 esclusiva di ERS

I sistemi della stazione della sonda sotto MPI adottano la tecnologia di raffreddamento AC3 unica di ERS e il suo sistema di gestione dell'aria, che può rimuovere direttamente l'ambiente MPI ShielDE dall'aria "usata" ™， Rispetto ad altri sistemi sul mercato, può ridurre il consumo di aria secca fino al 30% al 50%.

Opzioni ottiche multiple

I componenti ottici MPI possono essere selezionati come microscopio a tubo singolo MPI SuperZoom ™ SZ10， MegaZoom con zoom ottico fino a 12x ™ MZ12 o EeyZoom con distanza di lavoro superiore a 42 mm ™ EZ10- È dotato di un sistema di zoom ottico 10x con un oculare ergonomico 20x, una distanza di lavoro 90mm e una risoluzione ottica fino a 2um o meno.